[实用新型]旋转阴极结构及镀膜设备有效
| 申请号： | 201921110237.X | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210458351U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 黄传虎 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 梁文惠 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种旋转阴极结构及镀膜设备。旋转阴极结构包括靶筒、设置在靶筒表面的靶材以及设置在靶筒内部的磁体结构组件；磁体结构组件包括：第一磁体；第二磁体，其中，在靶筒的轴线方向上，第一磁体和第二磁体的彼此靠近的两个端部之间具有间隔；磁场强度调节结构，设置在间隔处。本实用新型的技术方案解决了现有技术中靶材利用率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 阴极 结构 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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