[实用新型]一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构有效
申请号: | 201921111630.0 | 申请日: | 2019-07-16 |
公开(公告)号: | CN210367897U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 曾咏嘉;刘俊智 | 申请(专利权)人: | 腾景科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/50 |
代理公司: | 福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙) 35226 | 代理人: | 李钢 |
地址: | 350015 福建省福州市马尾科技园*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构,涉及光学加工技术领域,包括设于真空室顶部中央的镀膜机台,镀膜机台的机械转轴上连接有镀膜孔盘,真空室顶部向下竖直安装有三根固定支架,固定支架下方穿过镀膜伞遮片,上下两个螺母孔将镀膜散遮片可拆卸的安装在固定支架上,镀膜孔盘正中间安装有用于监控镀膜过程的监控片。本实用新型通过三个一样的固定支架焊接在真空室顶部,将镀膜伞遮片悬空固定在真空室孔盘外圈正下方,从而遮挡镀膜过程大部分膜料蒸镀;并且镀膜伞遮片的面积可以根据产品进行自由调节,从而控制镀膜孔盘外圈产品镀上去膜的膜厚,通过监控片跟外圈滤光片镀膜的厚度差来实现短波滤光片的镀制。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 短波 波长 镀膜 结构 | ||
【主权项】:
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