[实用新型]多栅离子能量分析仪器及其探头有效
| 申请号： | 201921125490.2 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN209896025U | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 程健;翟红雨;王梦永 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多栅离子能量分析仪器及其探头，设置所述探头的栅网的网孔孔径小于两倍的德拜半径，且所述栅网中网孔孔径为所述栅网的网丝直径的10‑15倍。所述栅网由导体网丝编制而成，网孔中心电势势必比网丝电位低，会产生横向电场，网孔越大，这种效应越明显，由于等离子的德拜屏蔽作用，为了保证栅网竖向电场的有效性，设置所述探头的栅网的网孔孔径小于两倍的德拜半径，同时设置所述栅网中网孔孔径为所述栅网的网丝直径的10‑15倍，使得栅网网孔小而密，在保证透过率的同时，能够有效降低横向电场影响。 | ||
| 搜索关键词： | 栅网 网孔孔径 探头 网丝 横向电场 网孔 电位 本实用新型 分析仪器 离子能量 屏蔽作用 中心电势 电场 导体网 等离子 透过率 多栅 竖向 保证 编制 | ||
【主权项】：
1.一种多栅离子能量分析仪器的探头，其特征在于，所述探头包括：/n套筒，所述套筒两端分别覆盖有挡板和底板；所述挡板具有探头开口用于通过待检测离子；/n位于套筒内的收集极；/n位于所述套筒内的多层栅网，所述栅网位于所述收集极与所述挡板之间，所述栅网用于形成选择电场，使得高于电场能量的离子入射所述收集极；/n其中，所述栅网的网孔孔径小于两倍的德拜半径，且所述栅网中网孔孔径为所述栅网的网丝直径的10-15倍。/n
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