[实用新型]一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构有效
| 申请号： | 201921130094.9 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN210506507U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 关治军;朱安秋 | 申请（专利权）人： | 苏州胜利精密制造科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215151 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，包括底座，磁铁设于底座上，磁铁表面覆盖透明的硅胶皮层，硅胶皮层四周被压板压在底座上，压板与底座可拆卸连接。硅胶皮层具有良好的防腐蚀性能，在冷却液中不会被腐蚀。同时硅胶皮层还具备一定的弹性，在压板与底座之间能起到密封圈的作用，使内部的磁铁与外部的冷却液隔绝，同时密封结构简单，便于拆装，方便后期维护。硅胶皮层为透明材质，便于查看硅胶皮层内的磁铁的状态，如果磁铁有异常可以直观看到。硅胶皮层的价格低廉，便于降低防水结构成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 磁控溅射 阴极 磁铁 防水 结构 | ||
【主权项】：
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