[实用新型]一种辅助抽真空的节能结构有效
申请号: | 201921133869.8 | 申请日: | 2019-07-18 |
公开(公告)号: | CN210460980U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 张丹;揣士敬;孟令二;胡余祥;李克成;沈阳;孙立军;项健 | 申请(专利权)人: | 合肥亚笙半导体设备科技有限公司 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B39/10;F04B39/00 |
代理公司: | 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 | 代理人: | 胡慧 |
地址: | 230088 安徽省合肥市蜀山区高*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及抽真空设备技术领域,具体为一种辅助抽真空的节能结构,包括壳体、真空发生器和相互依次连通的进气管、中间管、排气管,真空发生器抽气口通过导管与进气管相互连通,真空发生器出气口与排气管相连通,中间管内部设置有单向阀,单向阀包括与中间管内壁固定连接的固定架、贯穿固定架的阀芯、位于阀芯下部一端外部位置的弹簧,固定架顶部开设有与阀芯匹配的密封槽,密封槽内壁设置有橡胶环,阀芯位于橡胶环同一纵向位置设置有与其匹配的密封槽,固定架与弹簧接触位置设置有与其匹配的弹簧槽,解决传统真空发生器进、排气控制不稳定,导致真空度难以控制,同时耗能较高的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 辅助 真空 节能 结构 | ||
【主权项】:
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