[实用新型]一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体和探针天线，所述沉积炉本体的边侧安装有向下倾斜分布的进气管，所述探针天线垂直安装在沉积炉本体的顶端，且探针天线的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆，所述沉积炉本体的边侧安装有电动机，且电动机和垂直分布的转轴相连接，所述石英钟罩的内弧面上设置有冷却杆，且冷却杆的中心处固定安装在竖杆底端，并且石英钟罩的底端设置有桨叶，所述探针天线的底端设置有排气口。该设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，通过对现有倒置放置的钟罩内外部结构的添加和改动，实现了钟罩本身的高效散热，同时对吹入沉积炉的反应气体具备聚拢作用，设计更加合理。