[实用新型]一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件有效
| 申请号： | 201921141209.4 | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN210215526U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 朱杰 | 申请（专利权）人： | 张家港市和瑞创先智能光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 李猛 |
| 地址： | 215623 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件，包括：固定座和板状靶材，所述板状靶材沿固定座长度方向平行设置在固定座的正面，所述板状靶材背面对称设置有靠近边缘的滑槽，所述固定座上设置有延伸至滑槽中的条形滑块，所述条形滑块中沿长度方向设置有冷却水孔，所述板状靶材侧面设置有指向条形滑块的紧固螺钉。通过上述方式，本实用新型所述的镀膜用水冷磁控溅射靶组件，特别在固定座上设计了条形滑块，既方便了对板状靶材的限位及冷却水孔的加工，又不增加整体的厚度，冷却水孔与冷却水循环管路连接后，通入冷却水，实现条形滑块和固定座的冷却，进而实现板状靶材的降温，而且板状靶材的安装和拆卸比较便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 水冷 磁控溅射 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张家港市和瑞创先智能光学有限公司，未经张家港市和瑞创先智能光学有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921141209.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种陶瓷刷
- 下一篇：一种移动充电装置充电仓
- 同类专利
- 专利分类
