[实用新型]一种氟化镁单晶生长炉有效
申请号: | 201921149489.3 | 申请日: | 2019-07-19 |
公开(公告)号: | CN210457500U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 候闽渤 | 申请(专利权)人: | 广德特旺光电材料有限公司 |
主分类号: | C01F5/28 | 分类号: | C01F5/28 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 叶美琴 |
地址: | 242200 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种氟化镁单晶生长炉,料筒具有加料腔,料筒顶端外侧周向布置有多个调节板,调节板下方均设有一固定架,调节板通过弹性件与固定架连接,多个驱动件分别与多个调节板一一对应设置并分别用于驱动多个调节板在竖直方向上下移动;料筒底部出料口;加料腔内部设有竖直布置在加料腔中心为主的中心杆,中心杆底端设有可密封出料口的堵头,中心杆顶端伸出料筒外并与固定板连接,并且中心杆与料筒滑动配合;加料腔内在竖直方向间隔布置有多组加料件,加料件包括两个相对布置在中心杆两侧的翻转板,翻转板转动安装在料筒上;料筒侧壁位于翻转板上方位置设有用于向翻转板上料的上料口。本实用新型实现分层进料,也便于控制氟化镁分投入量。 | ||
搜索关键词: | 一种 氟化 镁单晶 生长 | ||
【主权项】:
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