[实用新型]电诱导辅助化学机械抛光测试装置有效
| 申请号： | 201921151577.7 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN210281867U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 寇青明;钮市伟;王永光;陈瑶;赵栋;刘卫卫 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;C25F3/30;C25F7/00 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 查杰 |
| 地址： | 215168 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电诱导辅助化学机械抛光测试装置，包括：抛光液池、抛光垫、抛光盘、抛光头、驱动器、负电极以及外接电源；所述抛光液池用于盛装抛光电解液，其通过所述抛光盘带动而旋转；所述抛光垫贴合于抛光液池的底壁上；所述抛光头用于固定待抛光的晶片，并通过所述驱动器驱动而与所述抛光垫相对反向旋转，以对晶片进行机械抛光；所述外接电源的正极与所述晶片接通，负极与所述负电极接通。本实用新型的电诱导辅助化学机械抛光测试装置，通过电诱导作用的方式，增强晶片的氧化腐蚀，提高材料去除率，降低晶片抛光的生产成本，改善晶片的表面质量。 | ||
| 搜索关键词： | 诱导 辅助 化学 机械抛光 测试 装置 | ||
【主权项】：
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