[实用新型]一种多工位碳化硅晶体生长装置有效
| 申请号： | 201921154199.8 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN210287583U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;周正星 | 申请（专利权）人： | 江苏星特亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多工位碳化硅晶体生长装置，包括至少两个生长机构；每个生长机构均包括装料仓、与装料仓连通的生长腔、可沿装料仓和生长腔的排列方向来回运动的设于装料仓和生长腔中的坩埚、用于驱动坩埚来回运动的驱动机构、用于为生长腔加热的加热机构；装置还包括用于同时为至少两个加热机构供电的电源机构、用于同时为至少两个装料仓抽真空的抽真空机构、设于抽真空机构与每个装料仓之间的隔离阀。本实用新型一种多工位碳化硅晶体生长装置，至少两个晶体生长机构共用电源机构和抽真空机构，不仅能够实现对每个生长腔中坩埚的精确控温以生长出优质的晶体，还节约了晶体生长装置的配置和空间利用，降低了设备成本，有利于规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多工位 碳化硅 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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