[实用新型]多晶硅铸锭炉有效

专利信息
申请号: 201921155791.X 申请日: 2019-07-22
公开(公告)号: CN210438863U 公开(公告)日: 2020-05-01
发明(设计)人: 李煜燚;武泉林;李飞龙;蒋俊峰;熊震;朱军 申请(专利权)人: 洛阳阿特斯光伏科技有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人: 韩晓园
地址: 471023 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉,包括顶部保温板、坩埚盖板和气路结构,所述气路结构包括穿过所述顶部保温板和所述坩埚盖板连通于所述坩埚内的进气管、穿过所述坩埚盖板和顶部保温板连通所述坩埚内与所述铸锭炉外的若干排气、位于所述顶部保温板外的气路保温板,位于所述顶部保温板外的部分所述排气管内置于所述气路保温板内。通过设置气路保温板,对流出所述顶部保温板后温度急剧下降的杂质气体起到保温的效果,防止杂质气体在排气管的管壁上凝结造成堵塞。
搜索关键词: 多晶 铸锭
【主权项】:
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