[实用新型]一种大尺寸硅圆片清洗装置有效
| 申请号： | 201921157186.6 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN210586087U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 裴坤羽;武卫;刘建伟;由佰玲;刘园 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/12;B08B1/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种大尺寸硅圆片清洗装置，位于硅圆片上下两侧的刷洗单元，包括对位设置的上毛刷组和下毛刷组，刷洗单元用于刷洗硅圆片表面残留砂浆，上毛刷组和下毛刷组同向旋转并带动所述硅圆片转动；位于硅圆片两侧的喷淋单元，置于第一毛刷外侧且位于硅圆片内缘，用于向硅圆片提供喷淋液；位于硅圆片出口方向一侧与硅圆片并行设置的吹气单元，其气流方向与硅圆片水平移动方向相反且倾斜设置，用于吹干硅圆片；置于硅圆片下方的传送单元和置于硅圆片外缘的定位单元。本实用新型清洗装置适用于大尺寸硅圆片，结构合理，操作简单，清洗效果好，缩短清洗时间，环保且安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 硅圆片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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