[实用新型]一种具有四支撑悬梁结构的电阻式半导体气体传感器有效
| 申请号： | 201921159036.9 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN210626385U | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 张晓;徐瑶华;刘皓;赵文瑞;魏峰 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/30 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有四支撑悬梁结构的电阻式半导体气体传感器。该传感器结构自下而上依次包括：硅衬底层，其中部有凹槽作为隔热腔体；支撑层，其包括支撑悬梁和绝缘区，绝缘区位于硅衬底层隔热腔体上方，绝缘区通过四根支撑悬梁与硅衬底层相连；电极层，其包括加热电极、叉指电极、供电引线和测试引线，加热电极呈折线形分布于绝缘区两侧，并通过供电引线与供电电极相连；叉指电极分布于绝缘区中心，并通过测试引线与测试电极相连；气敏层，其覆盖于叉指电极上，并与所述叉指电极电连接。本实用新型功耗较小、绝热性良好。同时，温度控制更加合理，避免了叉指电极与加热电极因低阻气敏材料加载导致的短路现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 支撑 悬梁 结构 电阻 半导体 气体 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研工程技术研究院有限公司，未经有研工程技术研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921159036.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种钢箱梁吊装装置
- 下一篇：一种用于带状橡胶收卷的装置
