[实用新型]分体式烧结炉热场钢笼结构有效
| 申请号： | 201921160319.5 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN210602792U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;贺贤汉;刘海;刘豫新 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F27B21/08 | 分类号： | F27B21/08 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 龚敏 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工设备领域。分体式烧结炉热场钢笼结构，包括一钢笼主体，钢笼主体包括主钢笼，主钢笼包括上不锈钢圈、下不锈钢圈以及设置在上不锈钢钢圈和下不锈钢圈之间的不锈钢网；钢笼主体还包括设置在顶端的端部子钢笼，端部子钢笼与主钢笼可拆卸连接；钢笼主体还包括两个周向排布的周向子钢笼，两个周向子钢笼均设置在上不锈钢圈与下不锈钢圈之间；两个周向子钢笼分别为第一周向子钢笼与第二周向子钢笼，第一周向子钢笼用于固定在烧结炉腔体的炉门的内侧，第二周向子钢笼与主钢笼可拆卸连接；周向子钢笼以及主钢笼上均开设有用于固定热场外层的毡圈的通孔。本专利通过优化钢笼主体的结构，拆卸方便。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 烧结炉 热场钢笼 结构 | ||
【主权项】：
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