[实用新型]一种掩膜板清洗装置

摘要

本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，包括：载台，适于承载掩膜板；吹气管道，用于对所述载台吹气；喷水管道，用于对放置在所述载台上的所述掩膜板喷水；感应器，设置在所述载台上；控制器，与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板放置在所述载台上时，控制所述吹气管道停止吹气。当掩膜板放置在载台上时，控制器控制吹气管道停止吹气，能够避免喷水管道在对掩膜板喷水清洗时，水进入吹气管道，从而避免吹气管道在吹气干燥的过程中有水从吹气管道中吹出，因此能够避免掩膜板上有水渍残留。