[实用新型]一种氢氟酸生产用蒸馏系统有效
| 申请号： | 201921187881.7 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN210384886U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 童晨 | 申请（专利权）人： | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D3/00 | 分类号： | B01D3/00;C01B7/19 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氢氟酸生产用蒸馏系统，包括蒸馏塔、进料组件、蒸汽加热器以及物料室，物料室内部包括存储有液态氟化氢的供料总站、两个计量站，供料总站与两个计量站分别通过输料管连接，每个计量站与供料总站所对应输料管的接头处均设有单向电磁阀一，进料组件包括主进料管、分管器以及两根进料支管，主进料管的一端与蒸馏塔连接，另一端与分管器连接，每根进料支管的一端与分管器连接，另一端对应连接一个计量站，两个计量站与蒸馏塔所对应进料支管的接头处均设有单向电磁阀二。本实用新型能够保证供料站持续的向蒸馏塔供料，并且能够及时的观察到蒸馏塔蒸馏后所产生的残渣，继而提高了氢氟酸的蒸馏效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢氟酸 生产 蒸馏 系统 | ||
【主权项】：
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