[实用新型]一种晶圆扩膜机用固定装置有效
| 申请号： | 201921190964.1 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN211289248U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 黄运军 | 申请（专利权）人： | 上海宏轶电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;F16M11/22;F16F15/04;H01L21/67;H01L33/48 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 赵朋晓 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了固定装置技术领域的一种晶圆扩膜机用固定装置，包括有底座，所述底座顶端开设有弹簧槽，所述弹簧槽内滑动连接有支撑板，所述支撑板底端与弹簧槽槽底之间均匀设置有第一弹簧，所述底座顶端设置有U型框，实用新型通过设置的弹簧槽、第一弹簧和支撑板，使得装置在纵向上有一定的减震效果，通过设置的U型杆、第二弹簧和夹板，使得装置能够夹紧不同尺寸的扩膜机，安装夹紧过程简单，便于使用，且该结构设计使得其在横向上具有一定减震效果，通过设置的散热风机，能够及时快速的冷却扩膜机上的加热工作盘，且设置的可升降的竖板，能够根据不同尺寸扩膜机灵活调整散热风机高度，增加了设备的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆扩膜机用 固定 装置 | ||
【主权项】：
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