[实用新型]一种双臂夹持洁净机械手有效
| 申请号： | 201921203972.5 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN210210416U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 尹诚诚;徐贺;周卫国;刘冬梅;王强 | 申请（专利权）人： | 北京锐洁机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/00;B25J15/08;B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 盛明星 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种双臂夹持洁净机械手，包括机械手主体，所述机械手主体顶部设置有两个机械臂，两个所述的机械臂上下依次设置，所述机械臂包括用于夹持晶圆的手指组件和与所述手指组件相连并驱动所述手指组件运作的腕部组件，所述腕部组件包括中空的密封外壳，所述密封外壳内设置有夹持传感器、松持传感器和检片传感器，所述手指组件包括固定手指和运动手指，所述固定手指和运动手指上设置有由聚醚醚酮制成的夹持垫，所述机械手主体上设置有防水组件，所述防水组件包括遮水盘和接水盘，所述遮水盘固定在所述机械手主体顶部，所述接水盘设置于所述手指组件的正下方，能够提高工作效率，增强防水性能提高工件搬运过程中的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双臂 夹持 洁净 机械手 | ||
【主权项】：
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