[实用新型]一种喷头装置

摘要

本实用新型公开了一种喷头装置，属于原子层沉积技术领域，包括喷头本体，喷头本体在垂直于柔性膜的移动方向的一个侧面上，在所有先导气工作区和缓冲区以及气体隔离面均匀开设有若干平行布置的进气管道，另一个侧面上在开设有若干平行布置的排气管道，且进气管道和排气管道均为盲孔，进气管道的进气口与主气路系统的上游部分相连接，排气管道的出气口与主气路系统的下游部分相连接；喷头本体的工作面均匀开设有若干排气孔，在两个先导气工作区分别开设有一个气体回收槽；每条进气管道与对应的若干排气孔连通，每条排气管道均与对应的气体回收槽连通。本实用新型提供的喷头装置，用于实现原子层沉积，结构简单，设计巧妙，并且能够达到预期的效果。