[实用新型]一种应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构及喷头有效
申请号: | 201921204694.5 | 申请日: | 2019-07-29 |
公开(公告)号: | CN210420153U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 崔东旭;郭鸿晨;许淘元;李瑞斌;贾培军;赵超;陈静升 | 申请(专利权)人: | 陕西煤业化工技术研究院有限责任公司;郭鸿晨 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 王艾华 |
地址: | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构及喷头,喷头沿气体隔离面以及封装工作面的工作区与缓冲区上分布有多个排气孔,导气槽选择性的连接在不同排气孔之间,通过排气孔实现相邻导气槽之间的串接;通过导气槽对若干个排气孔进行互联,两个排气孔之间的导气槽呈扩张型布置,通过导气槽使出射气体射流在排出排气孔的同时向排气孔四周迅速扩撒。本实用新型能够使出射气体射流在排出排气孔的同时迅速向排气孔四周扩撒,以此方式提供对每个排气孔出射气体射流的缓冲,减低直接朝向柔性膜的冲击力。连接所有排气孔的导气槽使所有排气孔可以被部分地当作一个更大的排气孔,有助于减少单个排气孔对柔性膜的冲击作用并起到对封装层均匀性更好的控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 应用于 柔性 表面 处理 喷头 导气槽 结构 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的