[实用新型]一种等离子放电设备

摘要

本实用新型公开的属于等离子加工技术领域的一种等离子放电设备，包括设备箱、电极板、真空泵、抽气泵和气体回收装置，设备箱的内顶壁和内底壁均螺接有电极板，设备箱的内后壁螺接有导轨，导轨的导槽与工件安装架滑动连接，设备箱的顶部贯穿开有注气口，注气口的顶端与第一气密阀固定连接，第一气密阀的另一端与输气管道固定连接，设备箱的顶部贯穿开有真空抽气口，真空抽气口的顶端与真空泵的进气口固定连接，设备箱的底壁开有排气口，排气口的底端与第二气密阀固定连接，第二气密阀的另一端与抽气泵的进气口固定连接，抽气泵的出气口与气体回收装置的进气口固定连接，本实用新型能够将未充分电离的工作气体进行回收，提高工作气体的使用效率。

主权项

1.一种等离子放电设备，其特征在于：包括设备箱(100)、电极板(200)、真空泵(710)、抽气泵(820)和气体回收装置(900)，所述设备箱(100)的内顶壁和内底壁均螺接有电极板(200)，所述设备箱(100)的内后壁螺接有导轨(300)，所述导轨(300)的导槽与工件安装架(310)滑动连接，所述设备箱(100)的顶壁螺接有控制器(400)，所述设备箱(100)的右壁螺接有电源箱(500)，所述设备箱(100)的顶部贯穿开有注气口(600)，所述注气口(600)的顶端与第一气密阀(610)固定连接，所述第一气密阀(610)的另一端与输气管道(620)固定连接，所述设备箱(100)的顶部贯穿开有真空抽气口(700)，所述真空抽气口(700)的顶端与真空泵(710)的进气口固定连接，所述设备箱(100)的底壁开有排气口(800)，所述排气口(800)的底端与第二气密阀(810)固定连接，所述第二气密阀(810)的另一端与抽气泵(820)的进气口固定连接，所述抽气泵(820)的出气口与气体回收装置(900)的进气口固定连接。/n