[实用新型]背接触太阳能电池片测试夹具有效

申请号：	201921215365.0	申请日：	2019-07-30
公开（公告）号：	CN209947818U	公开（公告）日：	2020-01-14
发明（设计）人：	张学军	申请（专利权）人：	上海明赫光电科技有限公司
主分类号：	H01L21/687	分类号：	H01L21/687;H01L21/66;H01L21/683
代理公司：	31297 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)	代理人：	崔巍
地址：	201417 上海市奉***	国省代码：	上海;31
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摘要：	本实用新型涉及一种背接触太阳能电池片测试夹具包括夹具基板，夹具基板上设有测试面板，测试面板上设有多个探针孔接口组，探针孔接口组包括多个探针孔接口，探针孔接口包括探针孔，探针孔内设有探针，探针孔外围的测试面板上设有探针孔橡胶密封环，上述多个探针孔接口组的外围的测试面板的外边沿上设有面板橡胶密封环，面板橡胶密封环内的测试面板上设有抽真空气道槽，抽真空气道槽的底部设有多个抽气孔，抽气孔与外部真空设备连通。本实用新型采用改进的真空吸附方式结合增大导热接触面积的方案，具有结构稳定，测试导热、温控效果好的特点。
搜索关键词：	探针孔测试面板橡胶密封环接口组本实用新型抽真空气道夹具基板抽气孔背接触太阳能电池外围外部真空设备真空吸附方式导热测试夹具导热接触结构稳定温控效果外边沿探针连通测试改进
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【主权项】：

1.背接触太阳能电池片测试夹具，其特征是包括夹具基板，所述夹具基板上设有测试面板，所述测试面板上设有多个探针孔接口组，所述探针孔接口组包括多个探针孔接口，所述探针孔接口包括探针孔，所述探针孔内设有探针，所述探针孔外围的所述测试面板上设有探针孔橡胶密封环，所述多个探针孔接口组的外围的所述测试面板的外边沿上设有面板橡胶密封环，所述面板橡胶密封环内的所述测试面板上设有抽真空气道槽，所述抽真空气道槽的底部设有多个抽气孔，所述抽气孔与外部真空设备连通，平放在所述测试面板上的背接触太阳能电池片的背面与所述面板橡胶密封环、探针孔橡胶密封环接触压紧围成密闭的导热面空间，外部真空设备通过所述抽真空气道槽在所述导热面空间内生成真空状态，外部大气压将背接触太阳能电池片的背面与所述测试面板压紧接触导热连接。/n

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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