[实用新型]一种带定位的硅片传输装置和传输系统

摘要

本实用新型公开了一种带定位的硅片传输装置和传输系统，包括二次定位机构和对称设置的传输带，所述传输带上对称设置有若干定位部件，且同一所述传输带上的所述定位部件等距分布；所述定位部件包括与硅片的边角匹配的导向部和分割筋，所述定位部件位于所述分割筋的两侧形成对称设置的所述导向部；位于两所述传输带间的所述二次定位机构包括推板和若干导向块，全部的所述导向块固定在所述推板的上表面，所述导向块和所述定位部件对应分布；所述导向块的上表面设置有定位筋，且所述定位筋和与其对应的所述分割筋共线，所述推板能够带动所述导向块向上运动，以将所述定位筋插设进相邻的所述硅片间。其能够提高硅片放置在传输带上的位置精度。