[实用新型]一种单晶提拉炉的加热装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶提拉炉的加热装置,包括石墨加热器，所述石墨加热器的内壁放置有石英坩埚，所述石墨加热器通过合页连接有上盖，所述上盖设有热气循环槽，所述热气循环槽内固定装设有两个风扇，所述两个风扇之间固定有进气窗口，所述石墨加热器的外壁固定包裹有隔热层，所述隔热层的下方设置有凸轮机槽。本实用新型通过凸轮机带动提拉炉在工作时在工作时往复摆动，带动多晶块翻滚，与炉内的高温热气充分接触，提高了熔化效率，上盖设置的热气回流装置将炉顶的热气通过风扇导回炉底，避免热气上升都堆积在炉顶导致炉内温度不均匀，提升了提拉炉的安全性，同时隔热层有效避免了石墨加热器工作时的温度散失，减少了熔化过程所需的时间。