[实用新型]玻璃立式磁控溅射镀膜专用工件架有效

专利信息
申请号: 201921227277.2 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN210314470U 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 余峰伟 申请(专利权)人: 天津格兰德科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300000 天津市西青区西*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 玻璃立式磁控溅射镀膜专用工件架,包括工件架主体、固定钢丝、支撑杆、限位缺口,所述工件架主体由横杆与纵杆构成,所述横杆与纵杆之间呈90°角固定连接,所述横杆与纵杆的前端面与后端面分别平齐,所述纵杆的上端、下端分别设有固定钢丝与支撑杆,所述支撑杆与纵杆垂直设置,所述支撑杆上设有限位缺口。本实用新型的优点在于:取消了胶带固定,有效提高了作业效率和良品率,通过在纵杆底部设置支撑杆,并在支撑杆上开设有三角形的限位缺口,顶部设有固定钢丝,镀膜时将玻璃底部卡在限位缺口内,顶部由固定钢丝限位,由于固定钢丝直径较小、强度较大,既可以防止运动过程中玻璃掉落,又可以使溅射中的原子颗粒可以绕过固定钢丝,保证镀层的均匀。
搜索关键词: 玻璃 立式 磁控溅射 镀膜 专用 工件
【主权项】:
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