[实用新型]蒸发镀膜系统有效
| 申请号： | 201921228795.6 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN210856318U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 王君;闫超颖;粱惠朋;汪友林 | 申请（专利权）人： | 沈阳爱科斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种蒸发镀膜系统，一种蒸发镀膜系统包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置，蒸发镀膜单元设置有多个，多个蒸发镀膜单元分别通过管道与抽真空装置连通；各管道上分别设置有阀门组件，且用于控制蒸发镀膜单元与抽真空装置的连通与否。本申请中蒸发镀膜单元设置有多个，分别通过管道与抽真空装置连接，即利用一个抽真空装置可以同时对多个蒸发镀膜单元抽真空，从而提高蒸发镀膜的效率。另外，相比于现有技术中一个蒸发镀膜单元与一个抽真空装置配套使用，本申请不仅节省了设备成本，而且节省了占地面积。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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