[实用新型]质谱检漏设备有效

专利信息
申请号: 201921242709.7 申请日: 2019-08-02
公开(公告)号: CN210426899U 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 龙超祥 申请(专利权)人: 深圳市远望工业自动化设备有限公司
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20
代理公司: 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 代理人: 孙大勇
地址: 518000 广东省深圳市宝安区福海街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种质谱检漏设备,用于检测待测箱体的气密性,质谱检漏设备包括:支撑架、真空腔体、升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构、质谱检漏装置及控制装置。真空腔体设置为至少两个,且各真空腔体均放置在支撑架上,各真空腔体内设置有用于容纳待测箱体的容纳腔。升降机构设用于分别驱动所对应的各真空腔体的结合与分离。示踪气体源用于向待测箱体提供示踪气体。质谱检漏装置与真空腔体导通连接,用于检测容纳腔内的示踪气体含量,从而判断待测箱体是否合格。控制装置与升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构及质谱检漏装置电连接以控制各自的工作。本实用新型质谱检漏设备的检漏耗时减少,工作效率提高。
搜索关键词: 检漏 设备
【主权项】:
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