[实用新型]液体回收装置有效
| 申请号： | 201921253050.5 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN210732170U | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 黄景山;裴雷洪;刘鹏 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种液体回收装置，包括：液体收集结构，其设置在晶圆化学机械研磨机台边缘旁侧，且位于晶圆化学机械研磨机台研磨液喷头下方，其能将晶圆化学机械研磨机台研磨液喷头流出的液体回收；液体导入结构，其一端连接液体收集结构，其另一端置于储液结构中；储液结构，其布置在晶圆化学机械研磨机台边缘旁侧，其用于存储回收的液体；送风装置，其设置在储液结构的旁侧，其能向储液结构内输送新风。本实用新型能收集预流的研磨液并通过扩散蒸发件和送风装置使回收研磨液中的超纯水蒸发，然后将剩余的研磨液输送回研磨机台再次利用，能大幅降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 回收 装置 | ||
【主权项】：
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