[实用新型]一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器有效

专利信息
申请号: 201921254094.X 申请日: 2019-08-05
公开(公告)号: CN210803518U 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 杜琨 申请(专利权)人: 廊坊市北斗神舟测控仪器有限公司
主分类号: G01P15/09 分类号: G01P15/09;G01P1/02;G01P1/00
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 韩亚伟
地址: 065000 河北省廊坊*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 本申请公开了一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器,包括表头与混合集成电路,表头与混合集成电路通过细导线电气连接在一起,所述表头的不锈钢壳体和混合集成电路的混合集成电路不锈钢壳体通过激光焊接在一起形成整机;所述表头包括全密封的不锈钢壳体和表芯,所述表芯胶粘固定于不锈钢壳体内;所述表芯包括上力矩器、下力矩器和石英挠性摆组件;其中,下力矩器包括:内接线柱、第一封接玻璃和下轭铁,其特征在于:采用金属‑玻璃封接技术将内接线柱和下轭铁由第一封接玻璃介质在800℃‑1000℃的含氢气大于2%小于10%氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起,这样的结构保证了传感器表头部分内部腔体高度密封、全天候耐高温。
搜索关键词: 一种 耐高温 密封 结构 石英 加速度 传感器
【主权项】:
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