[实用新型]一种碳化硅结势垒肖特基二极管有效
申请号: | 201921266363.4 | 申请日: | 2019-08-07 |
公开(公告)号: | CN210349845U | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 吴昊;张梓豪;陈欣璐;黄兴 | 申请(专利权)人: | 派恩杰半导体(杭州)有限公司 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L29/16;H01L29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310053 浙江省杭州市滨江区浦*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种具有低正向导通电压、高反向击穿电压的碳化硅(SiC)结势垒肖特基二极管。所述碳化硅结势垒肖特基二极管包括碳化硅衬底,衬底上具有不同导电类型的碳化硅外延层。另外在上端表面还制作有有源区和注入区,碳化硅衬底底部背面覆盖有欧姆接触电极,有源区和注入区表面设有肖特基接触电极,在所述的肖特基电极边缘设有钝化层,在钝化层下制作有结终端。本实用新型与传统器件相比,在JBS器件中的漂移区中增加有源区注入,能够有效分散反向击穿时的电场分布,增加反向耐压,在不牺牲器件正向导通特性的前提下,使器件达到更高的击穿电压。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 结势垒肖特基 二极管 | ||
【主权项】:
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