[实用新型]一种行星式多坩埚PVT法晶体沉积反应炉有效
| 申请号： | 201921270676.7 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN210194036U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;张胜涛;袁文博;范国峰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 韩立岩 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种行星式多坩埚PVT法晶体沉积反应炉，涉及单晶体反应设备技术领域，具体包括反应平台：反应平台上加工有一组安装凹槽，安装凹槽底部设置有安装轴承，每个安装轴承内分别与一个从动转轴，从动转轴上方设置有一组反应坩埚，所有从动转轴下方均与一组旋转驱动装置配合连接，反应平台上还设置有一组绝热保护罩，绝热保护罩将所有反应坩埚包覆，绝热保护罩外端缠绕有感应线圈，感应线圈通过导线和控制开关与外接电源电连接；本实用新型多个坩埚由一组旋转驱动装置统一驱动旋转，在反应的同时，旋转坩埚，保证坩埚的内的晶体沉积效率增加，能够形成稳定的均匀的适合单晶体沉积的温度梯度，缩减制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行星 坩埚 pvt 晶体 沉积 反应炉 | ||
【主权项】：
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