[实用新型]一种洁净室有效
| 申请号： | 201921297086.3 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN210713992U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李传琰;李鹏;王江标;张欣赏;盛受文;肖红梅 | 申请（专利权）人： | 世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司 |
| 主分类号： | E04H5/02 | 分类号： | E04H5/02;E04H1/12;F24F7/08;F24F3/16;F24F13/02;F24F11/89 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘红彬 |
| 地址： | 100142 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及洁净厂房技术领域，公开了一种洁净室，包括调压设备组件用于调节上技术夹层双墙夹道内气压，以使洁净室正常生产时使上技术夹层双墙夹道内的气压高于与其相邻的带污染源上技术夹层和无污染源上技术夹层内的气压；和/或；调压设备组件用于调节下技术夹层双墙夹道内气压，使洁净室正常生产时使下技术夹层双墙夹道内的气压高于与其相邻的带污染源下技术夹层和无污染源下技术夹层内的气压，或，使洁净室正常生产时使下技术夹层双墙夹道内的气压低于与其相邻的带污染源下技术夹层和无污染源下技术夹层内的气压。本申请公开的洁净室，可以降低或避免带污染源生产区产生的污染物进入到无污染源生产区中，以提高无污染源生产区中产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净室 | ||
【主权项】：
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