[实用新型]硅片承载花篮

摘要

本公开提供一种硅片承载花篮，涉及硅片承载结构技术领域。包括两个端板和连接于两个端板之间的插片杆件，插片杆件相对设置于硅片承载花篮的两侧，每侧的插片杆件均具有呈上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿，第一组花篮齿和第二组花篮齿均包括多个自一个端板向另一端板方向依次间隔设置的花篮齿，相邻的两个花篮齿之间具有齿间隙，第二组花篮齿的花篮齿的位置与第一组花篮齿的齿间隙的位置相对应。本公开提供的硅片承载花篮能够更好地去除花篮齿与花篮齿之间集聚的水分，从而解决了硅片在烘干时，花篮齿与花篮齿之间的聚集的水不易干燥的问题，同时还能有效解决硅片在插片和清洗过程中相邻硅片之间粘连的问题。