[实用新型]一种等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201921318351.1 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN210429731U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 周兆瑞;侯正奇;崔建业 | 申请（专利权）人： | 天泓环境科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J49/02;H01J49/04 |
| 代理公司： | 淄博佳和专利代理事务所(普通合伙) 37223 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 255000 山东省淄博市高新区青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种等离子体处理装置，属于等离子体设备技术领域。其特征在于：电极管的两端分别连接有进水管（12）和出水管（16），进水管（12）和出水管（16）与箱体（1）之间均设置有密封件（13），箱体（1）还连接有用于对放电腔抽负压的抽负压装置；所述的密封件（13）包括套设在对应的进水管（12）或出水管（16）外的密封筒（17）、内锁紧筒（22）以及外锁紧筒（21），内锁紧筒（22）和外锁紧筒（21）与密封筒（17）之间均设置有密封环。本等离子体处理装置提高了放电效率，且可以施加中高频交流电，放电频率提高，产生的电子能量提高，密封件使箱体内维持稳定的负压状态，保证了放电稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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