[实用新型]一种镀膜机靶头有效
申请号: | 201921319903.0 | 申请日: | 2019-08-15 |
公开(公告)号: | CN210394496U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 封文炎;潘毅;林敏;姚峰;黄李平 | 申请(专利权)人: | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00 |
代理公司: | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人: | 翁晓婵 |
地址: | 518117 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型具体涉及一种镀膜机靶头,包括靶芯、套接于靶芯外的靶轴及依次套接在靶轴上的靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套,所述靶轴上对应设置有靶头固定座套接台、靶框套接台、齿轮套接台、固定轴承套接台、油封组件套接台以及油封固定套套接台。通过在靶轴上依次套接靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套,确保靶头在使用过程中靶轴与油封、油封固定套、靶芯等同心,避免靶轴在使用过程中出现左右摇摆的情形,从而确保油封与靶轴之间的密封性,避免靶头在使用过程中出现漏水的情况,同时还减少油封组件的磨损,延长油封组件的寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 机靶头 | ||
【主权项】:
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