[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构有效
| 申请号： | 201921320501.2 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN211497759U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 罗立珍;李纲;郑启发;华冬辉 | 申请（专利权）人： | 湖南菲尔姆真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 赵琴娜 |
| 地址： | 410600 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构，设置有工件小车，工件小车设置有移动装置，移动装置设置有驱动工件小车移动的驱动组件和在工件小车退出真空镀膜室后支撑工件小车的支撑组件。本实用新型的进出料机构可以很好的适配卧式结构设计的真空镀膜机，解决卧式结构设计的真空镀膜机的进出料问题，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 卧式 真空镀膜 进出 机构 | ||
【主权项】：
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