[实用新型]一种光刻胶配套材料回收装置有效
| 申请号： | 201921322155.1 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN210199510U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 李永斌 | 申请（专利权）人： | 甘肃华隆芯材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 李春霖 |
| 地址： | 730900 甘肃省白银市白银区兰包路33*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光刻胶配套材料回收装置，包括连接在光刻胶喷涂机外壳上的回收腔，回收腔上连接有输送管，输送管上通过可拆卸连接件连接有“L”形连接管，“L”形连接管的另一端也连接有用于与喷涂机的光刻胶管道的涂布头连接的可拆卸连接件，光刻胶管道上也连接有控制阀，控制阀与涂布头之间的光刻胶管道上连接有增压泵，喷涂机外壳上设置有便于“L”形连接管穿过的通孔，喷涂机外壳上通过滑动机构滑动连接有密封门。通过使用该装置即可解决现有技术中造成的光刻胶材料的浪费和废液处理成本高的问题，实现了对光刻胶材料的节约，同时降低了生产加工厂家的运营成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 配套 材料 回收 装置 | ||
【主权项】：
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