[实用新型]一种全新的物理气相沉积钽腔体配件装置

摘要

本实用新型公开了一种全新的物理气相沉积钽腔体配件装置，包括块体，所述块体侧壁呈弧面状结构，且块体顶部外壁设有等距离分布的直线凸起，所述块体侧壁设有等距离分布的圆形凸起，且块体底部外壁靠近一侧处设有限位块，所述限位块外壁开设有等距离分布的边槽，所述块体底部外靠近中心处设有中心块，所述中心块与限位块之间留有间隙，所述块体、直线凸起、圆形凸起、限位块和中心块为一体成型结构。本实用新型通过在配件表面的刻槽，增大接触面积，能粘附更多的附属物，同时分散这些附着物的应力分布，附着的附属物不容易剥落，减小颗粒产生的几率，提高制程的质量，延长腔体保养的周期，从而提高机器的使用率，减小成本。