[实用新型]生长大尺寸晶体的长晶炉有效
| 申请号： | 201921330840.9 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN211057276U | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 宋建;张开端;张维刚;王雅儒 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 韩玉昆 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种生长大尺寸晶体的长晶炉，属于晶体制造设备领域。该生长大尺寸晶体的长晶炉包括炉体、上盖和下盖，所述炉体与上盖和/或下盖通过工字型法兰连接，所述工字型法兰的侧壁设置抽气孔，所述通气孔与所述炉体形成的炉腔连通。本申请的长晶炉的抽气孔单独设置在工字型法兰上，而不设置在炉体上，不仅加工方便，且避免了抽气孔的损毁而造成更换整个炉体的情况，降低了成本；炉体使用单壁的石英管炉膛结构，结构简单，设备安全性好；以石英管作为炉体，炉体、上盖、下盖和工字型法兰之间采用法兰与多个密封圈密封连接的方式，密封性好；长晶炉的上、下盖均能打开，装卸料、清理炉膛均比较方便。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 尺寸 晶体 长晶炉 | ||
【主权项】：
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