[实用新型]一种螺旋形流体动压抛光垫

摘要

本实用新型公开了一种螺旋形流体动压抛光垫及其抛光方法，改变传统球形工具和柱形工具的切点和切线抛光作用方式，将工具与工件之间的作用区域扩展到面接触方式，以提高抛光效率。本实用新型在抛光垫基体上的中心设置中心供液孔和中行储液区，在表面上设置螺旋形动压槽，且螺旋形动压槽均匀分布于抛光垫基体的表面上，在抛光加工过程中，将预先混合有抛光颗粒的抛光液以一压力从中心供液孔注入抛光垫与工件表面之间的液膜间隙中，同时抛光垫高速旋转，以增强液膜间隙内抛光液的动压效应，根据流体动力学理论，液膜间隙内流体动压力以及流体剪切力能够显著提高抛光液中颗粒冲蚀光学元件表面的效应，去除元件表面材料的，实现抛光的目的。