[实用新型]密封圈和工艺门有效
申请号: | 201921341262.9 | 申请日: | 2019-08-16 |
公开(公告)号: | CN210802037U | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 刘科学;孙妍;吴艳华;王玉霞;武鹏科 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | F27D1/18 | 分类号: | F27D1/18;E06B7/16 |
代理公司: | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人: | 孙向民;廉莉莉 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种密封圈和工艺门,密封圈包括密封圈本体,密封圈本体顶部的部分区域整体向上凸起形成凸出部,凸出部的宽度小于密封圈本体的宽度。这种密封圈利用燕尾槽底部空间,增大密封圈底部宽度,当密封圈安装于燕尾槽内时,密封圈表面与燕尾槽的槽壁充分接触配合,严格限制了密封圈在燕尾槽内的活动空间,能够有效避免密封圈从燕尾槽内脱出,进而避免密封圈脱出而导致的危害。 | ||
搜索关键词: | 密封圈 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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