[实用新型]一种射频离子源装置有效
| 申请号： | 201921356401.5 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN210467753U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 陈晓东 | 申请（专利权）人： | 常州鑫立离子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/16 | 分类号： | H01J27/16;H01J49/10 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 周颖洁 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种射频离子源装置，具有绝缘电离罩、射频线圈、绝缘底座和离子源盖板；射频线圈螺旋缠绕于绝缘电离罩的外壁上，且两端通过射频感抗匹配网络与射频电源相连；绝缘底座与绝缘电离罩底部固定；离子源盖板盖在绝缘电离罩上方；绝缘电离罩的顶部开设有离子发射口；射频线圈的外侧套接有屏蔽罩；屏蔽罩的外侧螺旋缠绕有天线；绝缘电离罩通过阀门和管道后与天线真空室连通，绝缘电离罩罩设于正离子收集极且与正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通进气通道和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔。本实用新型提高了天线的绝缘性能，同时不会因压差过大造成绝缘筒破碎。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 离子源 装置 | ||
【主权项】：
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