[实用新型]LPCVD和ALD两用布气装置

摘要

LPCVD和ALD两用布气装置，包括加热炉，加热炉炉口处设置有用于连接布气装置的紧固法兰，紧固法兰沿轴向远离加热炉的一侧设有两个同轴连接的布气法兰，两个布气法兰与紧固法兰通过螺栓配合连接，设沿布气法兰的轴向靠近加热炉的一侧为内、远离加热炉的一侧为外，所述位于外侧的那个布气法兰的外侧设有一个与布气法兰相匹配的炉口盖板。采用本装置可以使一个加热炉兼容两种镀膜工艺，可以减少加热炉的采购量，减少成本而且还可以节省占用空间。