[实用新型]制备二维晶体材料的化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 201921366056.3 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN210394591U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 钟国仿;陈炳安;张灿 | 申请（专利权）人： | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/64;C23C16/448;C23C16/44;C23C16/455 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 陈文斌 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区凤凰*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种制备二维晶体材料的化学气相沉积设备包括：包括：真空室；所述真空室内设置有样品台和气体分配器；第一控温室，用于放置第一原材料，并用于将所述第一原材料加热以产生第一原材料的蒸气；第一进气管，连通所述第一控温室和所述气体分配器；第二控温室，用于放置固态或液态第二原材料，并用于所述第二原材料加热以产生第二原材料的蒸气；第二进气管，连通所述第二控温室和所述气体分配器；第三进气管，一端用于连通所述第二原材料的气体源，另一端连通所述气体分配器。本实用新型技术方案具有二维晶体材料制备精度高，产品均匀性和重复性好，化学气相沉积设备适用范围广的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 二维 晶体 材料 化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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