[实用新型]极紫外光光罩基底及极紫外光光罩

摘要

本实用新型公开了一种极紫外光光罩基底及极紫外光光罩。该极紫外光光罩基底包括：基板，其包括热电材料；导热层，其形成于基板上；以及反射层，其形成于导热层上。本实用新型通过在极紫外光光罩基底设置基底、形成于基板上的导热层以及形成于导热层上的反射层，使包含该基底的极紫外光光罩在吸收极紫外光后，将累计的热能传导至反射层，反射层将热能传导至导热层，导热层将热能传导至基板，包含热电材料的基板将热能转化为电能，从而降低了热能在极紫外光光罩中的积累，在一定程度上解决了极紫外光光罩受热膨胀的问题，提高了采用极紫外光光刻技术的半导体制程的稳定性。