[实用新型]晶圆夹具的导电片有效
| 申请号： | 201921367578.5 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN211570818U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 邱晓明 | 申请（专利权）人： | 邱晓明 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D7/12;H01R11/05;H01R4/48 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 中国台湾苗栗县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种晶圆夹具的导电片，包含：输入部及多个输出部，所述输入部及各所述输出部设置于所述载盘上，所述输入部供以与电线电性连接，各所述输出部的其中一端连接所述输入部，各所述输出部的另一端与所述晶圆电性连接；所述载盘具有第一面，所述第一面上凹设有底槽，所述底槽具有环区及多个支线区，所述环区与各所述支线区连通，所述导电片的数量为多个，各所述导电片分别具有一个所述输入部及二个所述输出部，各所述导电片的所述输入部环绕设置于所述环区，而各所述导电片的所述二输出部分别设于各所述支线区；由于电流是经导电片分流并传递至晶圆，使晶圆夹具内电线的数量减少，而达成简化晶圆夹具内结构的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 导电 | ||
【主权项】：
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