[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置有效
| 申请号： | 201921368666.7 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN210155513U | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 陈武档;周国波;赖艺珠;梁荣增;宋里千 | 申请（专利权）人： | 福建泓光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) 11310 | 代理人： | 张江涵 |
| 地址： | 363000 福建省漳*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，包括储液罐、缓存罐和消泡罐，所述储液罐通过第一输送管与缓存罐连接，缓存罐内设有过滤腔和缓存腔，缓存腔通过第二输送管与机台上的喷嘴连接，该装置通过定时通过增加对缓存腔液体的输送使上端悬浮的气泡进入过滤腔，缓存腔和过滤器内液位传感器检测液面高度，过滤腔通过消泡罐内真空直接吸入消泡罐内，消泡罐利用真空泵消除气泡并回收利用，该装置减少了气泡的过滤消除并可回收使用，避免使用消泡剂对产品产生影响，第二输送管位于缓存腔的进液口外端包裹有滤筒，能够再次过滤显影液内的气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶匀胶 显影 供液消泡 装置 | ||
【主权项】：
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