[实用新型]纯化器连接结构有效
| 申请号： | 201921389678.8 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN210771449U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 赵兴;刘玮 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F17D5/02;F17D5/00;B01D49/00;B01D53/00;B01D53/74 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构，包括：第一～第十一气路、第一～第二十六阀、第一～第三纯化器、第一～第四进气口、第一～第三出气口、文丘里管和放气阀。本实用新型提供的纯化器连接结构，能简化纯化器更换所需要的操作步骤和所需要人工，并且通过阀体开关状态的配合能够实现纯化器更换后的管路测漏。在纯化器粘帖贴片式热电偶增加了对纯化器温度的检测，能避免损坏纯化器。并且，在所有阀体均采用电控阀的情况下，能够进一步减少纯化器更换、测漏和纯化器温度检测的人为工作量，通过逻辑电路能够实现纯化器更换、测漏和纯化器温度检测，可避免因人为纯化操作潜在错误，大大提供生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 纯化 连接 结构 | ||
【主权项】：
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