[实用新型]一种真空气浮轴承及其性能检测装置有效
| 申请号： | 201921393672.8 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN210859562U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 成荣;朱煜;杨开明;刘相波;王利臣 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;G01M13/04 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 左文 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空气浮轴承及其性能检测装置，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本实用新型的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该检测装置包括真空室；分别与真空室连接的多级抽气管路、抽真空管路、进气管路、氮气管路，真空室还连接一真空室真空计，该性能检测装置能够准确的评估该真空气浮轴承是否符合实际真空环境的使用需求，还可判断该真空气浮轴承工作时对真空环境的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空气 轴承 及其 性能 检测 装置 | ||
【主权项】：
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