[实用新型]一种蓝宝石单面抛光片厚度不良返抛装置有效
| 申请号： | 201921405041.3 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN211681558U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 徐良;占俊杰;阳明益;蓝文安;刘建哲;陈吉超;余雅俊 | 申请（专利权）人： | 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 董李欣 |
| 地址： | 321000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蓝宝石单面抛光片厚度不良返抛装置，包括抛光机主体、抛光机头、机台盘、抛光垫和用于吸附返抛晶片的晶片载盘，其中机台盘和抛光机头均与抛光机主体连接，晶片载盘与抛光机头连接，晶片载盘位于机台盘的上方，且晶片载盘的晶片吸附面与上表面相对，抛光垫设置于机台盘的上表面。本实用新型的蓝宝石单面抛光厚度不良返抛装置，能达成返抛晶片对背面粗糙度的均匀性要求，并能提升晶片表面厚度不良的返修良率，经检测返修良率可达95％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 单面 抛光 厚度 不良 装置 | ||
【主权项】：
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